晶书籍成赢得实用新式专利授权：“一种显影安装”
发布日期：2024-11-22 02:45 点击次数：123
本站音尘，凭证天眼查APP数据泄漏晶书籍成（688249）新赢得一项实用新式专利授权，专利名为“一种显影安装”，专利肯求号为CN202420188439.0，授权日为2024年11月22日。
专利节录：本实用新式提供了一种显影安装，包括腔体、吸盘、喷嘴、称重传感器、泄漏屏和电源；吸盘、喷嘴和称重传感器诞生在腔体内，泄漏屏和电源诞生在腔体外；喷嘴诞生在吸盘的上方，称重传感器与吸盘的下名义麇集；称重传感器与泄漏屏电麇集，称重传感器和泄漏屏折柳与电源电麇集。在晶圆显影的经由中，不错通过称重传感器和泄漏屏获取归拢型号的多个晶圆在不同分量W的显影液进行显影时骨子用于显影的显影液的分量M，然后凭证多组W和M数据，拟合得到W?M弧线，该弧线中突降的临界点B对应的M即为最好的显影液用量，后续该型号的晶圆均可使用最好的显影液用量进行显影，这么不错有用减少显影液用量和挥霍，裁汰企业本钱。
本年以来晶书籍成新赢得专利授权239个，较旧年同时增多了17.16%。接续公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研发方面进入了6.14亿元，同比增22.27%。
数据着手：天眼查APP
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